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光柵的結構及作用簡介

光珊主要是用來機床相對較高的精密檢測設備,它是一種非接觸式測量。它是運用幾何光學展開工作,按樣子可以分為圓光珊與長光珊。圓光柵用以角速度的檢查,長光柵用以直線偏位的檢查。 

光柵是運用光散射、衍射制作而成光學測量電子器件,它一般是由光柵尺(包括尺標光柵和標識光柵)和光柵讀數頭兩大類。 

光柵讀數頭由燈源、鏡片、標示光柵、光敏元件和推動路線構成,如下圖2-23所顯示。 

光柵的結構及作用簡介.png

普適性光珊基本上系統工作原理是依據物理中的莫爾條紋的建立基本要素開展工作的,在這里不會再詳細描述。 

光柵具備以下優點: 

(1)響應速度快、檢測范圍寬、精準測量精確度高。測平行線偏移,精度可達0.5~3μm(300mm范圍之內),屏幕分辨率可達0.1μm;測角位移,精度可達0.15″,屏幕分辨率可達0.1″,甚至更多。 

(2)可以實現動態測量,便于完成精確測量及數據處理方法的自動化技術。 

(3)具有較強的抗干擾能力。 

(4)怕震動、怕油漬,高精度光柵的制作成本高。


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